Узнать сейчас
|
Винты из SiC (карбида кремния)Карбид кремния (SiC) — это керамический материал с превосходной термостойкостью и химической стойкостью, занимающий второе место по твердости после алмаза и карбида бора.
Он имеет кристаллическую структуру, похожую на структуру алмаза, а его высокая твердость поддерживается прочными ковалентными связями, что затрудняет ухудшение его механической прочности даже при высоких температурах. По этой причине температура плавления карбида кремния превышает 2500 °C, и он также используется в качестве материала для каналов, по которым течет расплавленное железо.
【Особенности винтов из SiC (карбида кремния)】
Основными характеристиками винтов из SiC (карбида кремния) являются термостойкость и химическая стойкость.
Термостойкость позволяет работать при температурах около 1500 °C, а небольшой коэффициент линейного расширения помогает смягчить воздействие теплового расширения на винты.
Химическая стойкость выдерживает высококоррозионные вещества, необходимые в производстве полупроводников, включая «аммиачную воду», «воду перекиси водорода», «плавиковую кислоту» и «SPM».
【Использование SIC】
Поскольку полупроводниковые приборы становятся меньше и более совершенными, химикаты (растворы для очистки пластин и т. д.), используемые в процессе очистки, становятся более едкими, чем когда-либо прежде.
Температуры обработки пластин также становятся выше, что требует винтов с более высокой термостойкостью.
Винт SIC эффективен для оборудования, которое использует эти высококоррозионные химикаты и в условиях высоких температур.
Примеры применения
・Оборудование для очистки пластин
