Tornillos de SiC (carburo de silicio
descripción
Tornillos de SiC (carburo de silicio) El carburo de silicio (SiC) es un material cerámico con una excelente resistencia al calor y a los productos químicos, y tiene la segunda dureza más alta después del diamante y el carburo de boro.
Tiene una estructura cristalina similar a la del diamante, y su alta dureza se mantiene mediante fuertes enlaces covalentes, lo que dificulta que su resistencia mecánica se deteriore incluso a altas temperaturas. Por esta razón, el punto de fusión del carburo de silicio supera los 2500 °C, y también se utiliza como material para canales por donde fluye el hierro fundido.
【Características de los tornillos de SiC (carburo de silicio)】
Las principales características de los tornillos de SiC (carburo de silicio) son la resistencia al calor y a los productos químicos.
La resistencia al calor permite el funcionamiento a temperaturas de alrededor de 1500 °C, y el pequeño coeficiente de expansión lineal ayuda a mitigar el impacto de la expansión térmica en los tornillos.
La resistencia química resiste sustancias altamente corrosivas esenciales en la fabricación de semiconductores, como "agua amoniacal", "agua oxigenada", "ácido fluorhídrico" y "SPM".
【Uso de SIC】
A medida que los dispositivos semiconductores se vuelven más pequeños y avanzados, los productos químicos (soluciones de limpieza de obleas, etc.) utilizados en el proceso de limpieza se vuelven más corrosivos que nunca.
Las temperaturas de procesamiento de obleas también son cada vez más altas, lo que requiere tornillos con mayor resistencia al calor.
El tornillo SIC es eficaz para equipos que utilizan estos productos químicos altamente corrosivos y en entornos de alta temperatura.
Ejemplos de aplicación
・Equipo de limpieza de obleas
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