产品描述
SiC（碳化硅）螺丝碳化硅（SiC）是一种耐热性和耐化学性极佳的陶瓷材料，硬度仅次于金刚石和碳化硼。
具有与金刚石相似的晶体结构，通过强共价键保持高硬度，即使在高温下机械强度也难以降低。因此，碳化硅的熔点超过2500℃，也用作铁水流动通道的材料。
【SiC（碳化硅）螺丝的特点】
SiC（碳化硅）螺丝的主要特点是耐热性和耐化学性。
耐热性允许在1500℃左右的温度下运行，较小的线性膨胀系数有助于减轻热膨胀对螺丝的影响。
耐化学性可耐受半导体制造中必不可少的“氨水”、“过氧化氢水”、“氢氟酸”、“SPM”等高腐蚀性物质。
【SIC用途】
随着半导体设备的小型化和先进化，清洗工序中使用的化学品（晶圆清洗液等）的腐蚀性也比以往更强。
晶圆加工温度也越来越高，因此需要耐热性更高的螺钉。
SIC螺钉对于使用这些高腐蚀性化学品的设备以及高温环境非常有效。
应用示例
・晶圆清洗设备
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